真空用橡膠密封圈
接觸式真空動密封的結構，最常用的有下麵幾種類型：
1)J型真空用橡膠密封。
J型真空用橡膠密封圈工作表麵應平整光滑，不允許有氣泡雜質、凹凸不平等缺陷。
2）O型真空用橡膠密封圈。
3）骨架型真空用橡膠密封圈.
4）真空用O形橡膠密封圈.
真空用金屬密封圈
金屬密封圈密封的可拆聯接是超高真空係統中常用的聯接形式。它是為滿足超高真空要求而必須經200～400℃的高溫烘烤除氣而欧宝官方体育app下载的密封方式。 常用的金屬密封圈的材料有金絲和無氧銅兩種，它們有下列一些性能：
金（Au）具有高的化學穩定性，高溫時不氧化，塑性好，屈服極限比銅或鋁低一倍，在較小的夾緊力下即可產生塑性變形，膨脹係數為αg=14×10-6cm/cm•℃，比不鏽鋼的膨脹係數αs=18×10-6cm/cm•℃稍低。金製密封圈雖有良好的密封性能，但在夾緊力的作用下會發生顯著的變形硬化，強度增加。為了保證密封圈密封，必須增大加緊力，而過大的加緊力又會在法蘭表麵上引起壓力痕，影響密封性能。因此，用在要求較高而不經過裝拆的聯接，拆開後重新裝配時需要更換密封圈。由於金的價格比較貴，它的應用受到較大的限製。 銅（Cu）的熱膨脹係數為αs=16.4×10-6 cm/cm•℃。銅的硬度比較大，銅製密封圈在使用前必須在真空或氫氣中進行退火處理，消除內應力。無氧銅是目前超高真空密封聯接中常用的密封圈材料。其不足之處是高溫烘烤中與大氣接觸部分會氧化，因此，在要求高的情況下，將無氧銅的密封圈的表麵鍍一層金，使其具有更好的密封性能。
作為聯接用的法蘭盤材料也必須能承受高溫烘烤、抗氧化以及在高溫時仍有良好的力學性能。最常用的材料是不鏽鋼。法蘭密封表麵的粗糙度和尺寸就精度均應滿足超高真空密封的要求。
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